Nový interferometr pro vysoce přesné měření tloušťky křemíkových desek
Při v robě polovodičů je nezbytn nejvy přesnost. Důležit m procesn m krokem je lapov n polotovarů, kter se tak dostanou na stejnou tlou ťku. Za čelem plynul kontroly tlou ťky byly vyv
